服务热线:
13438300287 17381982098
联系我们
服务热线
13438300287 17381982098
电话:13438300287 17381982098
QQ:812389541
地址:成都市双流县九江双羽工业园
当前位置: > >
阳极模离子源
作者: 发布日期:2017-03-19

  • 原理:
  • 依据中产生喷出的离子束流。
  • 用途:
  • 可作为基片表面的清洁离子清洗源。
  • 可在柔性基片上直接镀DLC和光学膜、氧化物、氮化物等作为磁控溅射过程中的离子辅助沉积。
  • 特性:
  • 低气压、低电压、高束流。阳极膜离子源产生的低能量、大束流的离子束可以有效去除基片表面的有机污染物和氧化层,增加薄膜的附着力,同时避免对基片轰击时造成损伤(如平板显示器镀膜、柔性基材镀膜)。
  • 无灯丝、栅极及中和栅、可长时间稳定运行和生产。非常高的平均无故障时间和极地的维护成本。由于阳极膜离子源无需灯丝,空心阴极等电子中和器而且水冷完全,所有其对镀膜环境的温度改变很小。这个特性对温度敏感基片的镀膜非常有利。同样道理,没有电子中和器使其可以长时间免维护工作。
  • 可适应各种反应气体和惰性气体。阳极膜离子源的机构和材料组成使得其完全适应绝大部分反应气体,如氮气、氧气和甲烷等。
  • 离子源长度可根据用户需要制造。
     

Copyright @ 2011-2017 成都南仪电子电气有限责任公司 All Rights Reserved. 版权所有备案号:蜀ICP备17029545号-1
电话:13438300287 17381982098QQ:812389541
地址:成都市双流县九江镇双羽工业园技术支持:
成都南仪电子电气有限责任公司主要从事设计、制造电气成套设备和真空系统各型控制电源生产。欢迎新老客户来电咨询!Tel:13438300287